Param.Inlet 3 Path 7 Type Anode Title ANODE Title Color 16765650 Title (Short) AN Pressure Outlet 1.0.3 MASS 7 Name 2 문자열 H2 문자열 N2 GAS 2 문자열 H2 문자열 N2 Stoic 2 숫자형 1.00000000000000 숫자형 1.00000000000000 MFC (Tx) 2 문자열 P.0.0 문자열 P.0.2 MFC (Rx) 2 문자열 0.0.0 문자열 0.0.2 MFC Range 2 숫자형 1000.00000000000000 숫자형 2000.00000000000000 S.V/V 2 1 문자열 0.0.0 문자열 0.0.2 HUM 5 Name 2 문자열 Dry 문자열 Wet Bottle Heater 2 문자열 문자열 0.0 Pre Heater 2 문자열 0.3 문자열 0.3 S.V/V 2 1 문자열 0.0.6 문자열 Pressure Inlet 2 문자열 1.0.0 문자열 1.0.0 Path 7 Type Anode Title ANODE (NH3) Title Color 16768443 Title (Short) AN(NH3) Pressure Outlet 1.0.3 MASS 7 Name 2 문자열 HN3 문자열 N2 GAS 2 문자열 HN3 문자열 N2 Stoic 2 숫자형 1.00000000000000 숫자형 1.00000000000000 MFC (Tx) 2 문자열 P.0.1 문자열 P.0.2 MFC (Rx) 2 문자열 0.0.1 문자열 0.0.2 MFC Range 2 숫자형 1000.00000000000000 숫자형 2000.00000000000000 S.V/V 2 2 문자열 0.0.1 문자열 문자열 0.0.2 문자열 0.0.5 HUM 5 Name 2 문자열 Dry 문자열 Wet Bottle Heater 2 문자열 문자열 0.1 Pre Heater 2 문자열 0.4 문자열 0.4 S.V/V 2 1 문자열 0.0.7 문자열 Pressure Inlet 2 문자열 1.0.1 문자열 1.0.1 Path 7 Type Cathode Title CATHODE Title Color 11918079 Title (Short) CA Pressure Outlet 1.0.4 MASS 7 Name 2 문자열 Air 문자열 N2 GAS 2 문자열 Air 문자열 N2 Stoic 2 숫자형 1.00000000000000 숫자형 1.00000000000000 MFC (Tx) 2 문자열 P.1.0 문자열 P.0.3 MFC (Rx) 2 문자열 0.0.4 문자열 0.0.3 MFC Range 2 숫자형 4999.99999999999999 숫자형 2000.00000000000000 S.V/V 2 1 문자열 0.0.4 문자열 0.0.3 HUM 5 Name 2 문자열 Dry 문자열 Wet Bottle Heater 2 문자열 문자열 0.2 Pre Heater 2 문자열 0.5 문자열 0.5 S.V/V 2 1 문자열 0.1.0 문자열 Pressure Inlet 2 문자열 1.0.2 문자열 1.0.2